CVD

  • 以石墨烯为例,谈谈化学气相沉积法

    化学气相沉积(CVD)是一种生产高质量固体薄膜和涂层的强大技术。尽管已广泛用于现代工业中,但由于它已适应新材料,因此仍正在不断发展中。如今,通过精确制造2D材料的无机薄膜和可以共形沉积在各种基材上的高纯度聚合物薄膜,CVD合成技术正被推向新的高度。

    2021年3月31日 技术资料
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  • 我科学家成功研制超平整石墨烯薄膜

    据悉,该成果所涉及的化学气相沉积方法(CVD)生长石墨烯,是目前制备大面积、高品质单晶晶粒或者薄膜的最主要方法。然而,由于石墨烯与基质材料能够产生强耦合作用,使得石墨烯在生长过程中会形成褶皱。这一现象严重限制了大尺度均一薄膜的制备,阻碍着二维材料的进一步发展应用。

    科研进展 2020年1月10日
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  • 北京大学刘忠范院士Adv. Mater.综述:传统玻璃表面上的石墨烯CVD生长方法和机理

    刘院士的团队希望为大家提供在各种商业玻璃上CVD法直接生长石墨烯的技术综合指南。本文从石墨烯在玻璃上生长的基本过程和挑战开始,对于软化点超过1000℃的耐高温玻璃,如石英或蓝宝石玻璃,可以通过碳前体在高温下的非催化热分解实现石墨烯的生长。对于普通玻璃,如钠钙玻璃,其软化点远低于低于石墨烯的生长温度,则发展了熔融床CVD技术。

    2018年12月3日 科研进展
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  • 北大彭海琳教授&刘忠范院士Adv. Mater.综述:走向CVD石墨烯薄膜的规模制备

    首先简要介绍了CVD方法制备石墨烯的基本原理,然后详细分析了控制石墨烯质量的工程原理,包括制程、设备以及关键参数等,最后还讨论了石墨烯薄膜的大面积均一性和快速表征方法。此外,该综述中还指出了石墨烯规模化生产所面临的挑战。

    2018年9月30日 产业新闻
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  • 李雪松:致力于推动石墨烯生产规模化

    然而经过一段时间的努力,从最开始的各种理论计算,经过反复尝试,他和团队成员终于成功地找到了一种可以大面积制备石墨烯薄膜的方法——化学气相沉积法。这项工作在《科学》上发表后,立即引起巨大反响,世界多家媒体和网站对这一工作进行报道或转载,认为该工作“打开了大规模制备石墨烯电子器件之门”。   

    访谈评论 2018年6月1日
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  • 如何通过CVD实现单晶石墨烯的批量合成

    CVD生长主要依靠前驱碳氢化合物气体(甲烷、乙烷等)裂解产生碳原子,并在合适的基底表面生长得到石墨烯。一般来说,大面积单晶石墨烯的制备,往往需要高品质的单晶作为基底材料,然后进行外延异质生长。

    2018年3月16日 科研进展
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  • 宁波材料所可在任意表面绝缘衬底PECVD法制备无需转移单层石墨烯

    中科院宁波材料所表面事业部功能碳素材料团队开发了一种绿色环保、无需转移、且能在较低温度下制备单层高质量石墨烯的方法,并在表面粗糙不平的透明电极进行了应用。利用该技术已获得可直接在石英片表面生长的无需转移的高质量单层2.5英寸晶圆级石墨烯薄膜。

    2018年3月15日
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  • Nature:大面积石墨烯单晶生长技术将实现连续量产!

    该研究提出的这种制造大尺寸石墨烯单晶的方法意义重大,不仅石墨烯单晶的实际应用,同样适合可用化学气相沉积法生长的氮化硼、过渡金属二硫属化合物等其他2D材料,为这些2D材料进行工业化生产及实际应用,铺平了道路。

    2018年3月14日 产业新闻
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  • 绝对干货丨CVD法制备石墨烯的工艺流程详解

    化学气相沉积法最早出现在二十世纪六十年代,主要用来制备高纯度、高性能的固体薄膜。石墨烯的化学气相沉积的原理是:将一种含碳的气态物质在高温和高真空的环境下,用氢气作为还原性气体,通入到炉内,生成石墨烯。

    2018年1月16日 技术资料
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  • 【青年学人】唐永亮:一招把“黑色黄金”石墨烯变成“白菜价” ——基础与前沿研究院博士生唐永亮实现高质量石墨烯高产制备

    没错,从现在起,制备石墨烯就是这么简单:从装置的一端通入常见且廉价的天然气,在装置的另一端就会源源不断地产生出高质量的“黑色黄金”石墨烯。这就是由于庆凯教授提出的制备石墨烯的新设想,电子科技大学基础与前沿研究院2013级博士生唐永亮实现了该设想。

    2017年12月20日
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