晶圆

  • 伦敦大学玛丽皇后学院Zhichao Weng和Oliver Fenwick课题组–在蓝宝石晶圆上直接生长的单层石墨烯电极忆阻器

    报告了使用市售的金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统,以可批量生产、无污染和无转移的方式在蓝宝石晶圆上直接生长高质量单层石墨烯。利用这种方法,基于石墨烯电极的忆阻器被开发出来,并且在包含石墨烯电极的器件制造中使用的所有工艺都可以在晶圆规模上进行。

    2024年9月26日 科研进展
    7000
  • 河套深港科创合作有大机遇!国创中心“Inno Link 创享孵化器”亮相

    深圳华盈芯材半导体技术有限公司已发展出成熟的高质量石墨烯生长、转印到硅晶圆的量产技术,并与台湾外延片公司合作初步验证了在石墨烯晶圆上外延氮化镓的成本以及特性上的优势。

    2024年7月1日
    25600
  • 苏州大学《Nanoscale》:综述!批量生产无转移石墨烯的最新进展

    本综述首先提出了在绝缘基底上批量生产无转移石墨烯的现有挑战,包括制备时间长、样品量小、批次间均匀性差以及可扩展生产的设备不足。报告全面总结了解决这些问题的策略设计方面的最新进展。报告还进一步介绍了我们对生长路线和相关可扩展生产设备开发的见解,旨在促进无转移石墨烯的批量生产及其实际应用。

    2024年5月17日 科研进展
    18100
  • 项目100%拿到风投,科技成果转化“松山湖模式”是如何形成的?|高质量发展调研行

    刘科海介绍,元素先进材料与器件团队的研究方向主要有单晶铜、单晶石墨烯等单晶二维材料的研究、高端铜材及装备产业化、二维材料声学器件和声学芯片研究。

    产业新闻 2024年5月17日
    23500
  • 刘忠范院士团队:石墨烯转移新概念,无裂纹!

    北京大学、北京石墨烯研究院刘忠范院士团队发现聚丙烯腈(PAN)可以作为聚合物介质来转移晶圆尺寸的石墨烯,并作为封装层来提供高性能石墨烯器件。因此,与器件制造兼容的PAN在后续应用中不需要去除。该研究实现了4英寸石墨烯到 SiO2 /Si 晶圆上的无裂纹转移,以及基于石墨烯的场效应晶体管 (FET)阵列的晶圆级制造,没有观察到明显的掺杂,实现均匀的高载流子迁移率 (~11,000 cm2V-1s-1) 和室温下的长期稳定性。

    2024年5月17日 科研进展
    18200
  • 中国宝安:下属子公司并无石墨烯晶圆相关研发

    有投资者在互动平台向中国宝安提问:请问贵公司石墨烯晶圆量产了吗?

    产业新闻 2024年4月22日
    24900
  • Paragraf – 项目更新

    CMB的工作范围基本上是将最近建造的配送仓库变成一个洁净室设施,用于生产150mm晶圆,每个晶圆可容纳12,000个设备。石墨烯(一种六边形的单层碳原子,比普通人的头发细150,000多倍)已经用于加强混凝土和油漆,但现在开始好转,因为它之前被吹捧为半导体中硅的替代品。

    2024年4月12日 产业新闻
    17100
  • 携手清华大学,BGI石墨烯薄膜应用迈入高端化新台阶

    基于清华大学有关石墨烯薄膜的诉求,BGI曾为清华大学提出三种解决方案:多晶石墨烯薄膜转移、单晶石墨烯薄膜转移、单晶晶圆石墨烯薄膜转移,并以这三种方案开始试样测试。经测试,通过单晶石墨烯晶圆无损转移获取的高品质石墨烯薄膜可以满足使用标准,并得到客户的高度认可。

    2024年4月1日
    28300
  • Graphenea现可供应 8 英寸晶圆

    Graphenea 很高兴地宣布,它现在在 8 英寸(200 毫米)晶圆上提供石墨烯薄膜。石墨烯薄膜将在该公司的标准基板 90nm SiO2/Si 上提供,并且可以选择向客户自己的基板提供定制转移服务. 就像 Graphenea 的所有其他 CVD 石墨烯产品一样,这些薄膜是在 ISO 7 级洁净室中生产和传输的。

    2024年2月14日
    32600
  • Adv. Mater.:晶圆级单晶石墨烯在Cu(111)单晶衬底上的可控制备

    本工作报道了单晶度约为95%的4英寸蓝宝石上Cu(111)晶圆的制造。在温度梯度退火下实现了具有多晶织构的铜的异常晶粒生长,消除了面内孪晶界并伴随面外晶界的迁移。单晶Cu(111)晶圆的出现使得石墨烯的生长能够提高结晶度(>97%)。生长的4英寸单晶石墨烯晶在约290 K下测量时表现出平均迁移率约7284 cm2 V-1 s-1以及偏差约5%的均匀薄层电阻,为高质量的受控合成铺平了道路。

    2024年1月26日 科研进展
    26300
  • 清华大学《Small》:在绝缘体上直接生长石墨烯实现超灵敏生化传感平台

    作者的研究首次证明,与高质量的转印CVD或剥落石墨烯相比,直接生长具有良好均匀性和高产率的PECVD石墨烯用于高精度生物传感器芯片是可行的。

    2023年12月20日 科研进展
    26500
  • 半导体工艺的极限:1nm之战

    台积电表示,当制作不同宽度的互连原型并将其电阻与铜互连进行比较时,发现宽度为15nm或更小的石墨烯互连的电阻率低于铜互连的电阻率。石墨烯的接触电阻率也比铜低四个数量级。将金属离子嵌入石墨烯中可以改善互连的电性能,使其成为下一代互连的有前途的材料。IMEC则认为石墨烯和金属的混合结构,非常有希望成为1nm的候选者。此外,IMEC也在考虑钌 (Ru)作为铜互连的替代品。

    2023年12月2日 研报资料
    29200
  • 国家重点研发计划“纳米前沿”重点专项“晶圆级石墨烯单晶与高速光通信器件”项目启动会顺利召开

    彭海琳教授在启动会上回顾了项目的总体目标和考核指标,梳理了项目的任务分解、责任分工、时间进度和节点安排,并详细介绍了项目的实施方案。四位课题负责人(中国科学院上海微系统与信息技术研究所的于庆凯研究员,北京大学材料学院的林立研究员、北京大学电子学院的尹建波研究员以及浙江大学微纳电子学院的俞滨教授)分别对各自负责的课题研究内容等进行了详细的汇报。专家组对项目和各课题的情况进行了深入讨论,审阅了项目实施方案等材料,经过与项目负责人和各课题负责人质询及讨论,一致同意通过项目实施方案,并提出了一些建设性的意见与建议。

    2023年12月2日
    31000
  • Archer:利用澳大利亚的半导体产业

    此次联合制造涉及与德国一家代工合作伙伴一起运行的多项目晶圆 (MPW),以验证 Archer 的 Biochip 石墨烯器件设计之一。

    产业新闻 2023年11月25日
    31100
  • 北京大学刘忠范和林立团队:光刻胶辅助的石墨烯晶圆无损转移

    这一方法避免了传统转移方法中聚合物在二维材料表面反复旋涂和去除过程对二维材料造成破损、褶皱、掺杂和污染等问题,成功实现了石墨烯的洁净转移,转移后石墨烯的电学性质得到明显改善,平均载流子迁移率可达6200 cm2·V−1·s−1。此方法可实现石墨烯等二维材料无损、洁净转移和高性能器件的构筑,将有助于推动二维材料在电子、光电子器件领域的应用。

    2023年11月1日 科研进展
    55800
客服

电话:134 0537 7819
邮箱:87760537@qq.com

返回顶部