MEMS

  • 芯动联科:公司主营产品为高性能MEMS惯性传感器和高性能MEMS压力传感器,未涉及NEMS和石墨烯传感器

    有投资者在互动平台向芯动联科提问:贵公司是否已经布局NEMS传感器,还有下一代石墨烯传感器?

    产业新闻 2024年3月7日
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  • 北京理工大学Xuge Fan、洛桑联邦理工学院和英国皇家理工学院–用于NEMS传感器的由石墨烯带和附加验证质量组成的谐振换能器

    我们展示了由双层石墨烯制成的带弹簧和由硅制成的验证质量的谐振换能器,并通过激光多普勒振动测量法研究了它们在空气和真空中谐振时的非线性力学。

    2024年1月9日
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  • 北航《ACS AMI》:高灵敏度石墨烯MOEMS谐振压力传感器

    本文首次报道了MOEMS石墨烯谐振压力传感器,其特点是通过阳极键合实现了10-3Pa的真空封装,大大降低了压力差下基底和石墨烯之间高空气阻尼和气体渗透造成的能量损失。总的来说,所提出的传感器为提高信噪比和实现二维材料谐振传感器的可靠使用提供了一个有前途的解决方案。

    2023年6月14日 科研进展
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  • 用二维材料解锁超越摩尔的世界

    事实上,传感器是一个关键的发展领域,因为就其性质而言,传感器往往在代工厂生产,这些代工厂已经过渡到MEMS等BEOL技术,并且具有易于适应平面化2D层的工艺。

    产业新闻 2023年5月25日
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  • 年轻的石墨烯研究人员聚焦:与Roberto Pezone的问答

    在石墨烯旗舰的工作包6(核心3)中,我的主要重点是将石墨烯集成到传感器中,特别是麦克风。我的主要目标是开发能够在晶圆尺度上无缝集成石墨烯的方法,同时彻底探索与这些方法相关的优缺点。除了开发制造技术外,我还对表征石墨烯在声学器件中的潜力非常感兴趣。这种类型的研究在弥合石墨烯的卓越性能与其在行业中的实际应用之间的差距,解锁更高的性能和新的传感器概念方面发挥着至关重要的作用。

    2023年5月11日
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  • Anartz Unamuno博士加入Graphenea担任高级顾问

    在这个职位上,Anartz将在Graphenea的制造业业务发展中发挥重要作用。他在半导体行业拥有超过20年的工作经验,包括研究机构、两家成功退出的初创公司和两家大型半导体制造公司。他曾在工程、项目管理和高级管理层任职。Anartz专注于用于批量生产的MEMS产品和技术。目前,他为深度科技初创公司提供技术、战略和筹款主题方面的建议。

    2023年5月8日
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  • 曼彻斯特大学–用Föppl–von Kármán方程模拟石墨烯-聚合物异质结构MEMS膜

    通过原子力显微镜形貌图获得的实验GPH膜形状与基于FvK的有限元方法模拟预测的膨胀形状进行了比较,它们彼此之间显示出极好的一致性。当在电容式压力传感器配置中GPH膜在压力下偏转时,通过准确预测偏转GPH膜装置在变化压力下的电容变化,进一步证明了该模型的有效性。

    2023年2月10日 科研进展
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  • 格罗宁根大学AFM封面论文 : 利用3D 打印石墨烯压阻式传感器解释波浪状海豹胡须的超灵敏尾迹跟踪能力

    在这项工作中,作者开发了一款具备波浪状海豹胡须结构的3D 打印石墨烯压阻式 MEMS 传感器,以解释海豹胡须结构对涡流的灵敏性。这些传感器还被用于测量两类海豹胡须,包括斑海豹和灰海豹胡须的固有频率。测量结果表明所设计的传感器具备替代高成本的激光多普勒测速仪对毫米级胡须的固有频率进行测量的潜力。此外,测量所得的胡须固有频率频率范围与常见鱼类尾涡的脱落频率相当。一系列的有限元仿真结果也被用于实验测量结果进行相互验证。

    2023年1月8日 科研进展
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  • 魏洋、李群庆研究组在石墨烯微加热芯片研究中取得进展

    他们将二维石墨烯材料代替传统的金属电阻加热器,大幅提升了原位加热芯片的性能。该加热芯片可在26.31 ms内加热至800 ℃,功耗仅为0.025 mW/1000 μm2。同时,在加热至650℃时,芯片因加热产生的形变仅约为50 nm,相比传统的金属加热芯片,该形变降低了约两个数量级,有效解决了在加热过程中芯片观察窗口因受热形变引发的失焦问题。

    2022年12月20日
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  • 格罗宁根大学《AFM》封面:受海豹胡须启发的3D打印石墨烯传感器

    这些传感器还用于测量切除港(Phoca vitulina)和灰色(Halichoerus grypus)海豹晶须的自然频率,并确定晶须方向对VIV的影响,这可以解释在主动狩猎期间胡须的可能自然取向。在循环水槽中进行的实验研究表明,受晶须启发的传感器通过锁定尾流发生器的频率,成功地感测了位于晶须直径10×的上游尾流,从而模拟了密封晶须的传感机制。VIV降低和频率锁定与上游尾流发生器的结合证明了晶须启发传感器的高信噪比,表明其在长距离尾流传感方面的效率以及其作为水下机器人中视觉和声学传感器替代品的潜力。

    2022年11月22日
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  • 用于超高分辨率超快速石墨烯显示器的MEGAMORPH项目

    MEGAMORPH跟进GIMOD项目,该项目通过吸引阶段1实施。第2阶段侧重于上市战略,评估套件使众多客户能够使用该技术。该联盟由创新领导者组成,反映了该项目的市场驱动性质:SCALE纳米技术,石墨烯,形态电子,TNO,CIN能和VividQ。

    2022年9月21日
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  • 灵敏的石墨烯麦克风:Sensitive Transfer-Free Wafer-Scale Graphene Microphones

    通过这项工作,我们展示了一种实现与大批量制造兼容的晶圆级多层石墨烯膜的无转移方法。因此,在很大程度上规避了基于转移的石墨烯麦克风制造方法的局限性,例如聚合物污染、裂纹形成、起皱、折叠、分层和低张力再现性,为石墨烯麦克风的大批量生产迈出了重要一步.

    2022年6月14日
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  • Nano Res.│石墨烯泡沫谐振器

    作者通过一种简单、可靠的制造工艺,制作了石墨烯泡沫器件。用静电激发这些器件,并分析它们的共振和衰荡响应。实验观察到显著的能量耗散,器件的品质因子在几十的数量级。此外,作者研究了温度对器件工作的影响,发现高温会使谐振器机械软化,但也会显著提高能量耗散。最后,作者演示了共振模式和两倍频率模式的模式耦合。因此,这项工作为开发新型石墨烯泡沫谐振器铺平了道路,该谐振器可以集成到未来的器件中,例如基于石墨烯泡沫的纳米机电传感器、电路和振荡器。

    2021年7月5日 科研进展
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  • 上海交大研发用于非接触式人机交互的MEMS湿度传感器

    该研究通过静电纺丝和超声共融工艺,提出一种基于多层石墨烯超声修饰静电纺丝柔性尼龙(PA)66的电阻型湿度敏感体系,一方面通过纳米纤维网络的结构设计增强了基底的毛细作用,另一方面巧妙利用PA66本身分子结构中大量的酰胺键易与水分子形成氢键作用的机理,使得复合材料极易“吸水变形膨胀”,从而造成导电网络变化,实现柔性湿度敏感。得益于出色的适型性与灵活性,传感器可以承受剧烈变形且轻易地改变自身形态,从而达到在更苛刻的环境中以任何形态正常工作并准确识别各种湿度变化的目的。

    2021年3月16日 科研进展
    2.2K00
  • 传统MEMS器件寻突破,石墨烯助力性能大幅提升

    NanoGraM项目为未来的潜在应用重点关注的三类特定器件包括:石墨烯麦克风、石墨烯膜压力传感器和石墨烯膜霍尔传感器。

    2018年9月11日 产业新闻
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