三星取得形成石墨烯的方法专利,通过等离子体增强化学气相沉积在基板的表面上生长石墨烯

形成石墨烯的方法包括:当对放置在反应室中的基板施加偏压时用等离子体处理基板的表面;以及通过等离子体增强化学气相沉积(PECVD)在基板的表面上生长石墨烯。

金融界2024年4月8日消息,据国家知识产权局公告,三星电子株式会社取得一项名为“形成石墨烯的方法“,授权公告号CN110970289B,申请日期为2019年9月。

专利摘要显示,提供一种形成石墨烯的方法。形成石墨烯的方法包括:当对放置在反应室中的基板施加偏压时用等离子体处理基板的表面;以及通过等离子体增强化学气相沉积(PECVD)在基板的表面上生长石墨烯。

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上一篇 2024年4月8日 07:50
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