郁万成
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𝑵𝒂𝒏𝒐 𝑹𝒆𝒔.│山东大学陈秀芳教授、任华英教授和郁万成教授团队:缓冲层介导的生长动力学调控,实现SiC基晶圆级均匀单层石墨烯制备
山东大学新一代半导体材料研究院陈秀芳教授、任华英教授和郁万成教授团队提出了一种将缓冲层形成与石墨烯生长解耦的分步生长策略,通过缓冲层介导的生长动力学调控,从根本上解决了传统高温生长工艺中大台阶聚并和台阶边缘主导成核的两大核心瓶颈。
山东大学新一代半导体材料研究院陈秀芳教授、任华英教授和郁万成教授团队提出了一种将缓冲层形成与石墨烯生长解耦的分步生长策略,通过缓冲层介导的生长动力学调控,从根本上解决了传统高温生长工艺中大台阶聚并和台阶边缘主导成核的两大核心瓶颈。
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