Global Brain 通过其“Global Brain Flagship Fund IX”基金,以领投方身份对石墨烯极紫外(EUV)掩模板开发商及制造商 AirMembrane Corporation(AirMembrane)进行了投资。本轮融资中,高轮门户全球协同效益基金有限合伙(TAKANAWA Fund)首次参与投资,新韩-GB FutureFlow基金有限合伙(SHGB)则进行了后续投资。
近年来,人工智能和自动驾驶等数字技术的飞速发展,正推动着全球对先进半导体的需求不断增长。极紫外(EUV)光刻技术对于实现半导体制造中日益精细的电路图案至关重要,目前下一代高数值孔径(High-NA)EUV光刻技术的研发正在积极推进中。在此光刻工艺中,EUV保护膜——一种用于防止光掩模受到颗粒污染的保护组件——是关键部件,对半导体良率有着显著影响。然而,同时满足高透光率、散热性、化学稳定性和机械强度这几项相互矛盾的性能要求,是一项重大的技术挑战,因此,全球都在热切期待能够满足所有这些要求的产品问世。AirMembrane正致力于通过其在日本国立先进工业科学技术研究所(AIST)研发的专有技术,应对这一全球性挑战。
AirMembrane 利用其由日本产业技术综合研究所(AIST)研发的专有连续合成和自动化转移技术,实现了石墨烯极紫外(EUV)光掩模的量产。其自动化转移工艺消除了微观缺陷,使高质量的石墨烯薄膜能够在不发生降解的情况下制成光掩模。本轮融资所得资金将用于构建制造能力,并加快招聘工程师和商务专业人才,为试生产和量产线的启动做好准备。
Global Brain 决定投资 AirMembrane,是因为认可其专有石墨烯连续合成与自动化转移工艺的技术优势、下一代极紫外光刻组件在全球范围内不断扩大的市场潜力,以及管理团队在推进量产线投产这一具体路线图方面的执行能力。通过此次投资,Global Brain 将积极支持 AirMembrane 构建量产基础设施,并加强与国内外商业合作伙伴的关系。
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