国家知识产权局信息显示,北京石墨烯研究院、北京石墨烯研究院有限公司、北京大学取得一项名为“二维材料转移装置及二维材料转移生产线”的专利,授权公告号CN224147733U,申请日期为2025年4月。
专利摘要显示,本实用新型涉及半导体技术领域,公开了一种二维材料转移装置及二维材料转移生产线,本实用新型的二维材料转移装置,包括:吸附台,用于放置目标衬底,吸附台的台面能够吸附目标衬底;加热机构,用于加热吸附台的台面;风刀,设于吸附台的一侧位置,能够朝向吸附台上的目标衬底吹风。本实用新型实施例的二维材料转移装置能够代替人工执行剥离热释放胶带的操作,工艺稳定性高,能够保证力道角度完全一致,大大节省了石墨烯转移的时间,提升了转移效率,并且保证了剥离支撑衬底过程的工艺稳定性,且有助于实现石墨烯转移的批量化。
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