赋能半导体与引力波探测！云亭烯电容位移传感器荣获佳绩！

2025国际智能传感新质创新大赛，云亭烯控股子公司长春云亭烯技术有限公司研发的石墨烯电容位移传感器凭借卓越的技术创新性和广阔的应用前景，在激烈角逐中脱颖而出，荣获培育赛道一等奖。

在2025年9月24日至26日的中国(上海)国际传感器技术与应用展览会上举行颁奖典礼。这不仅是一次荣誉的加冕，更是向全球展示中国传感器技术创新成果的重要契机。

云亭石墨烯电容位移传感器的应用领域:

一、半导体领域

石墨烯传感器尤其在半导体检测(如EUV光刻机台)、引力波探测等超精密领域有望替代传统技术。电容位移传感器以纳米级精度校准芯片光刻机中镜片的位置、晶圆厚度测量、光学膜层厚度测量等。

云亭烯电容传感器用于晶圆台的精确定位，实现了纳米级分辨率。

云亭烯电容位移传感器为光掩模版对准进行监测，这些传感器在纳米范围内提供分辨率。

二、精密数控机床

纳米位移传感器在机床主轴位置调整中的应用

机床主轴的转速极高，主轴上微米级别的圆度差异都会在加工材料上留下划痕进而影响产品质量。电容式位移传感器凭借其高精度测量能力，为机床主轴位置调整提供了可靠的解决方案。

三、新能源汽车动力电池(解码动力电池的“膨胀密码”)

云亭烯微型电感传感器可监测电池极片的厚度变化，预防热失控风险，通过测量膨胀导致的极板间距变化(Δd≈0.1-3mm)，将机械位移转换为0.05% F.S.精度的电信号。

动力电池系统的安全性已成为行业核心议题。由电池膨胀引发的安全事故占比高达37%。高精度电容位移传感器作为电池健康状态的“机械医生”，正成为保障动力电池安全的关键防线。