张志勇
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碳基电子学研究中心张志勇-彭练矛课题组在异质集成石墨烯磁传感器领域取得重要进展
北京大学信息科学技术学院电子学系碳基电子学研究中心、纳米器件物理与化学教育部重点实验室的张志勇-彭练矛联合课题组借助石墨烯工艺与硅基工艺的良好兼容性,开发了一种硅基CMOS集成电路和石墨烯霍尔元件的三维(3D)异质集成技术,得到的石墨烯霍尔传感器的综合性能优于现有的商业霍尔传感器。
北京大学信息科学技术学院电子学系碳基电子学研究中心、纳米器件物理与化学教育部重点实验室的张志勇-彭练矛联合课题组借助石墨烯工艺与硅基工艺的良好兼容性,开发了一种硅基CMOS集成电路和石墨烯霍尔元件的三维(3D)异质集成技术,得到的石墨烯霍尔传感器的综合性能优于现有的商业霍尔传感器。
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