华源电子申请基于可控微爆炸的石墨烯原子级制造方法及装置专利，将单片8英寸晶圆石墨烯制备周期压缩至10分钟以内

国家知识产权局信息显示，广西钦州市华源电子有限公司申请一项名为“一种基于可控微爆炸的石墨烯原子级制造方法及装置”的专利，公开号CN122751357A，申请日期为2026年3月。

专利摘要显示，本发明涉及一种基于可控微爆炸的石墨烯原子级制造方法及装置，属于二维材料与原子级精密制造技术领域。本发明采用纯碳含能化合物作为碳源‑能量一体化前驱体，在阵列式纳米限域微腔约束下，通过纳秒脉冲准分子激光同步触发可控微爆炸，结合石墨化生长模板与定向匀强电场，实现纳秒级碳原子定向自组装，制备高质量单层/少层石墨烯；并通过毫秒级激光退火与高纯氢气钝化修复晶格缺陷。本发明将单片8英寸晶圆石墨烯制备周期压缩至10分钟以内，综合能耗仅为传统CVD工艺的1%以下，可精准控制石墨烯层数与缺陷密度，100%兼容现有半导体产线，适用于新能源储能、半导体器件、催化、柔性电子等领域的规模化制造。

天眼查资料显示，广西钦州市华源电子有限公司，成立于2016年，位于钦州市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本20万人民币。通过天眼查大数据分析，广西钦州市华源电子有限公司专利信息31条。

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