国家知识产权局信息显示，深圳拜奥森传感科技有限公司申请一项名为“一种背面栅极石墨烯FET生物传感芯片及其制备方法”的专利，公开号CN121656353A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种背面栅极石墨烯FET生物传感芯片及其制备方法，包括：采用ICP蚀刻和化学镀铜工艺，并在蚀刻孔洞区域内镀满Cu，形成含Cu连接位点连接源极和漏极；在晶圆背面含Cu部分和栅极重叠区域进行开孔，并镀铜，使开孔区域铜Cu与孔洞中区域的Cu部分连通，然后进行电子蒸汽镀膜Cu/Ti，使背面连通栅极、源极和漏极，得到含有背面栅极的石墨烯FET传感器芯片，制得芯片通过球焊方式在含有背面连通栅极、源极和漏极的Cu层部分连接PCB板相应金丝尾端部分，将芯片底面电极部分焊接至PCB板上。本发明背面栅极石墨烯FET生物传感芯片实现更高的电流驱动能力和更低的导通电阻，提升器件的整体性能，实现成本低、稳定性高、性能强的效果。
天眼查资料显示，深圳拜奥森传感科技有限公司，成立于2025年，位于深圳市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳拜奥森传感科技有限公司拥有行政许可1个。
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