上海大学 高性能石墨烯晶体管的测试加工服务 采购意向公示

为便于供应商及时了解采购信息，现将我校快速采购意向公开如下：

项目概况：

（1）拟采购方式：上大迅采

（2）采购项目名称：高性能石墨烯晶体管的测试加工服务

（3）预算金额：44.96万元

（4）采购需求概况：

因科研需求需供应商提供测试加工服务：

1. 完成4英寸石墨烯GFET器件单步工艺验证、掩膜版加工制备；
2. 完成4英寸晶圆级石墨烯传感器件GFET流片验证；
3. 完成GFET流片加工制备，基片材质：硅片（带300μm SiO2）基片4英寸。

• 工艺：光刻×3、沉积Ti/Au (10/100nm) ×1、Liftoff×1、PECVD沉积SiO2 200μm、BOE腐蚀SiO2 200 μm、石墨烯转移(单层，~700Ω/)、石墨烯刻蚀、激光划片、芯片分拣取片。
• 流片要求：线宽误差 ≤ ±1μm、薄膜厚度误差 ≤ ±10%、RSD ≤ 5 kΩ。

以电子文本格式提交报告。

合同签署并生效之日起2个月内服务。

（5）预计采购时间：2025年10月

（6）采购意向公示时间：2025-10-21 ~ 2025-10-26

联系方式：

采购人名称：上海大学
联系地址：上海市上大路99号
用户单位联系人：崔颖
联系电话：17717819536

采购代理机构：上海机电设备招标有限公司
联系人：王欣怡、陈瑞麟、邓澍
联系电话：32557753、32557727、32557759 wxyi@shbid.com
联系地址：上海市长寿路285号16楼

采招办监督员：谢金印
监督电话：021-6613 0721

本次公开的采购意向是本单位采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

上海大学

2025-10-21