剑桥大学采购AIXTRON设备用于基于二维/层状材料的光子器件

英国剑桥大学从AIXTRON SE采购了一套Close Coupled Showerhead®系统，用于其在光子学和光电子学领域的研发工作。该AIXTRON系统可实现层状材料（二维材料）的晶圆级生长。这使得与硅光子学的集成成为可能，从而生产出高效且高速的光学数据通信设备。

AIXTRON的Close Coupled Showerhead®（CCS）系统采用200mm配置，目前正在剑桥石墨烯中心安装，用于英国层状材料研究晶圆代工厂（LMRF）。LMRF将专注于石墨烯及其他层状材料的研究，旨在以试点规模向终端用户提供一个完全集成的硅光子学平台。

据报道，AIXTRON的CCS平台被选为该试点生产线的原因是“它是目前唯一能够实现无缝工艺转移和扩展至300毫米晶圆以及层状材料大规模制造的平台”。它还为实验室规模带来了制造级别的功能。这得益于AIXTRON的专有全晶圆温度控制技术，通过ARGUS温度映射系统实现，以及利用AIXTRON的浓度监测器Epison®进行精确的前驱体输送和控制。

“多年来，我们与AIXTRON紧密合作，这使我们能够在层状材料的研究与开发方面取得进展。我们目前正在剑桥石墨烯中心安装的AIXTRON CCS系统，将用于沉积用于光收发器和调制器的层状材料，这些材料将应用于5G/6G等高速数据应用，以及下一代节能人工智能硬件的光学互连和开关，”剑桥大学剑桥石墨烯中心主任安德烈亚·费拉里教授表示。

“二维层状材料在光子学、光电子学和纳米电子学领域蕴含巨大潜力。我们很高兴剑桥大学选择AIXTRON作为其纳米技术领域世界领先研究的合作伙伴，以释放这些材料的潜力。通过此合作，我们将助力塑造先进光电子和电子设备的未来，”AIXTRON SE首席执行官费利克斯·格拉韦特博士表示。