北京石墨烯技术研究院申请石墨烯晶圆及其原位制备方法专利,可实现石墨烯晶圆原位制备及薄膜受控生长

本申请提供的原位制备方法可以实现石墨烯晶圆的原位制备以及石墨烯薄膜的受控生长。

金融界2025年5月13日消息,国家知识产权局信息显示,北京石墨烯技术研究院有限公司申请一项名为“石墨烯晶圆及其原位制备方法、电子器件”的专利,公开号CN119954143A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本申请提供一种石墨烯晶圆及其原位制备方法、电子器件,该原位制备方法包括在晶圆一侧的表面上形成图案化的第一生长基底和图案化的第二生长基底,第一生长基底的溶碳度大于相同温度下第二生长基底的溶碳度;在第一生长基底的表面上和第二生长基底的表面上分别形成第一石墨烯薄膜和第二石墨烯薄膜,第一石墨烯薄膜的层数大于第二石墨烯薄膜的层数;使第一石墨烯薄膜与第一生长基底解耦,以及使第二石墨烯薄膜与第二生长基底解耦后,去除第一生长基底和第二生长基底,使第一石墨烯薄膜和第二石墨烯薄膜原位附着在晶圆上,获得石墨烯晶圆。本申请提供的原位制备方法可以实现石墨烯晶圆的原位制备以及石墨烯薄膜的受控生长。

天眼查资料显示,北京石墨烯技术研究院有限公司,成立于2017年,位于北京市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本64089.448068万人民币。通过天眼查大数据分析,北京石墨烯技术研究院有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目79次,财产线索方面有商标信息51条,专利信息197条,此外企业还拥有行政许可7个。

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