红外传感器芯片、石墨烯晶圆,上海功能型平台取得一批产业共性技术成果

推动共性技术研发,支撑上海产业链创新,是功能型平台的重要功能。5年来,平台机构取得了一大批共性技术成果,如石墨烯平台与中国科学院上海微系统研究所等联合研发的8英寸石墨烯晶圆已进入中试制备技术开发阶段,4英寸和6英寸晶圆产品已与下游企业签订销售订单,为集成电路产业提供了新一代材料。

红外传感器芯片、石墨烯晶圆,上海功能型平台取得一批产业共性技术成果

新冠肺炎疫情暴发后,红外体温计的核心部件——红外传感器芯片在我国一度紧缺,进口面临很大障碍。在很短时间内,上海微技术工业研究院就研发出这种芯片,并利用“超越摩尔”8英寸研发中试线进行生产,迄今已累计出货超过4700万颗芯片,最高峰产量约占全球总产量的60%。

微技术工研院是上海布局建设的第一个研发与转化功能型平台,致力于“超越摩尔”技术和物联网应用的创新和产业化。这家新型研发机构已申请专利757件,服务企业680余家,孵化出15家集成电路领域的高科技企业,带动投资超过20亿元,在嘉定区初步形成了传感器与物联网产业集群。

红外传感器芯片、石墨烯晶圆,上海功能型平台取得一批产业共性技术成果

科研团队在“超越摩尔”8英寸研发中试线工作。

过去5年,像微技术工研院这样的研发与转化功能型平台在上海已建成15家,它们分布在浦东、嘉定、青浦、杨浦、普陀、宝山、徐汇、松江、静安等9个区,聚焦集成电路、生物医药、智能制造、新一代信息技术、新材料、新能源等重点领域。作为一类新型研发机构,上海市功能型平台以支撑产业链创新和重大产品研发为目标,强化重点领域关键共性技术攻关与核心技术突破,为产业链各环节供给高水平技术,旨在弥补市场缺位,完善创新生态,支撑相关产业高质量发展。

2019年3月,市委办公厅、市政府办公厅印发《关于进一步深化科技体制机制改革增强科技创新中心策源能力的意见》,进一步明确了功能型平台的建设目标和要求。2020年5月起施行的《上海市推进科技创新中心建设条例》,将“协同推进上海市研发与转化功能型平台建设”纳入本市创新能力建设的重点内容。

推动共性技术研发,支撑上海产业链创新,是功能型平台的重要功能。5年来,平台机构取得了一大批共性技术成果,如石墨烯平台与中国科学院上海微系统研究所等联合研发的8英寸石墨烯晶圆已进入中试制备技术开发阶段,4英寸和6英寸晶圆产品已与下游企业签订销售订单,为集成电路产业提供了新一代材料。

红外传感器芯片、石墨烯晶圆,上海功能型平台取得一批产业共性技术成果

工作人员展示8英寸石墨烯晶圆。赖鑫琳摄

又如,机器人平台研发的共性技术产品为医疗康复、医美、信息交互等应用场景赋能,其中的上肢康复机器人“iremo”能沿着康复病人手臂的发力方向自主移动,适用于脑卒中、神经损伤患者的早期康复训练。

红外传感器芯片、石墨烯晶圆,上海功能型平台取得一批产业共性技术成果

上肢康复机器人能与人的手臂进行互动。赖鑫琳摄

栏目主编:黄海华

本文作者:俞陶然

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