2D-EPL提供了大规模测试基于石墨烯的传感器的机会

一个由石墨烯旗舰项目2D Experimental Pilot Line（2D-EPL）发展而来的项目已经启动了其首个可定制的晶圆运行。

作为五个多项目晶圆（MPW）中的一个，第一阶段的目标是传感器应用。公司、大学和研究机构可以将他们的设计作为接头晶圆上的芯片，以相对较低的成本在更大规模上测试他们的想法。

2D-EPL是一个耗资2000万欧元的项目，旨在率先制造基于石墨烯和相关材料（GRM）的原型电子和传感器，并将其集成到已建立的硅半导体平台中。该项目还将有助于完善和扩大石墨烯电子产品的制造工艺，包括开发关键工具、材料和工艺。

2D-EPL包括来自整个价值链的合作伙伴 – 从工具制造商到半导体制造生产线 – 包括瑞典查尔姆斯理工大学;爱思强、德国和英国;大学间微电子中心（imec），比利时;AMO， 德国;VTT， 芬兰;南德意志科技，德国;石墨烯， 西班牙;微光刻胶技术，德国;高性能微电子（IHP）创新，德国和牛津仪器，英国。

2D-EPL项目将提供多种集成服务，包括多项目晶圆（MPW）运行。第一次运行将在AMO GmbH的400平方米最先进的洁净室举行。目标应用是生物、气体或化学传感器、霍尔传感器或光电探测器应用，利用石墨烯对环境的极高灵敏度。基线工艺是石墨烯场效应晶体管（GFET），具有多种定制选项。

MPW运行为参与者提供了在按照自己设计制造的模具上获得GFET的机会。生产成本由2D-EPL项目和客户共同承担，这意味着用户可以以更低的价格访问这项技术。目前，可用的数量适合原型设计，研究和开发。

“这次晶圆运行为学术团体，初创企业和其他公司提供了一个机会，以相对较低的成本大规模测试2D材料设备的新想法，”AMO业务开发人员Gordon Rinke解释说。“因此，他们可以收集更多设备数据，并直接测试更大的产量 – 这是将产品推向市场的必要步骤。

“MPW运行是2D-EPL项目中的重要一步，”2D-EPL部门负责人Cedric Huyghebaert补充道。“它们不仅为工业界和学术界的客户提供石墨烯集成晶圆，而且还为这些设备的制造提供了巨大的学习机会。我们计划测试和分析生产过程的每个阶段，以扩大规模并改进石墨烯集成电子产品的制造。

多项目晶圆上的芯片可以在一组规格内进行定制 – 例如尺寸和某些关键尺寸是固定的 – 并且必须根据工艺设计套件（PDK）进行设计。AMO GmbH将支持成功的申请人并与之合作进行模具设计，并提供设备设计库，用作修改的基础。

“基于2D材料的电子产品可以成为欧洲在高科技领域获得份额的真正工具，但需要的是围绕这一主题开发整个生态系统 – 从工具开发人员到潜在客户。这就是2D-EPL试图实现的目标。在AMO，我们非常高兴能够为这个重大项目贡献我们的经验和制造能力，“AMO科学总监Max Lemme说。

第一次2D-EPL MPW运行于2月份开始，电话会议于2022年6月30日结束。MPW运行的制造阶段将于2022年9月1日至10月31日之间进行。