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利用气态化合物或化合物的混合物在基体受热面上发生化学反应，从而在基体表面上生成不挥发涂层的一种薄膜材料制备系统，它由管式炉，质量流量控制系统和真空控制系统组成。适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、石墨烯材料生长、二维材料生长、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
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这是一封来自“内蒙古自治区乡村振兴局”感谢信！
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2022年3月4日 15:21
江苏大学《Langmuir》：氧化石墨烯气凝胶泡沫构建的用于锂电池的全固态电解质膜
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