李成

• 科研进展

  北航《Adv Sic》：超灵敏双谐振器石墨烯压力传感器，具有温度自补偿功能，用于航空航天、汽车制造

  该传感器将薄硅膜上的压力敏感石墨烯谐振器与厚硅膜上的温度补偿石墨烯谐振器共同封装于真空阳极键合腔体内，通过计算两者共振频率差值消除温度依赖性。真空封装与SiO₂边缘沉积共同抑制环境扰动，确保频率基准稳定性。

  2025年11月10日

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