戴兆贺
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力学与工程科学学院戴兆贺课题组在金属薄膜高温稳定性研究中取得进展
研究团队在SiO2基底表面引入原子级厚度的石墨烯作为范德华模板,无需特殊制备工艺,仅采用常规电子束蒸镀,即可制备具有高温稳定性的织构化金属薄膜。实验发现,20nm厚的传统多晶Au薄膜在300℃退火后会破裂形成孤立金属岛,而范德华模板诱导的织构Au薄膜在600℃下仍保持连续,并逐渐变得更加平整,拓宽了高集成度电子器件的高温加工窗口。
研究团队在SiO2基底表面引入原子级厚度的石墨烯作为范德华模板,无需特殊制备工艺,仅采用常规电子束蒸镀,即可制备具有高温稳定性的织构化金属薄膜。实验发现,20nm厚的传统多晶Au薄膜在300℃退火后会破裂形成孤立金属岛,而范德华模板诱导的织构Au薄膜在600℃下仍保持连续,并逐渐变得更加平整,拓宽了高集成度电子器件的高温加工窗口。
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