宇润华茂
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宇润华茂申请利用CVD法和高温烧结在铜基底上融合石墨烯的方法和系统专利 增大石墨烯配置的面积
本发明通过设置铜基材处理系统、CVD成型系统、热压烧结系统在铜基板上利用CVD沉积反应法覆盖石墨烯层,利用两级退火系统对铜基板进行处理,使得铜基板软化降低硬度并方便在铜基板的表面开设凹面,并利用铜基板表面的凹面在CVD反应腔内进行CVD沉积反应,形成了铜基板‑石墨烯层‑铜粉和或泡沫铜‑石墨烯层的复合材料,并由于铜粉层的存在进行烧结加工以将复合材料致密混合,相对于传统CVD工艺,能够增大石墨烯配置的面积,从而加强其热导效果以及强度效果。