传感器

复杂的制造工艺与当今半导体制造标准的互补金属氧化物半导体 (CMOS) 技术兼容，利用 Graphenea 石墨烯，最终良率达到 99.9%，在测量的 2560 个器件中生产出了 2558 个器件跨越 5 个微芯片。此外，工艺的均匀性很高，器件和芯片之间的电阻变化很小。

该传感器基于纳米厚的半导体氧化石墨烯片，充当 FET 源极和漏极之间的通道；栅电极控制通过通道的电流。将石墨烯片沉积在硅晶片上，然后将金电极印刷在石墨烯片上，然后是纳米厚的氧化铝绝缘层，以将栅电极与半导体沟道分开。

本文介绍了一种新型的生物传感器结构，它利用了石墨烯作为生物组分和信号转导器之间的界面材料，从而提高了生物传感器检测PEPs的性能。阐述了石墨烯的特性和优势，以及它在生物传感器中的应用原理和方法。另外还介绍了石墨烯生物传感器在检测PEPs方面的实验结果和展望。可以看出，石墨烯生物传感器是一种具有很大发展前景的环境监测技术，但也需要进一步的改进和完善。

这项工作最近发表在《ACS Nano》杂志上，基于Graphenea Foundry生产的在 4” 和 6” 晶圆上的 GFET 阵列。Graphenea Foundry工艺可确保批次间的再现性和高质量的可靠性，器件良率 >95%。石墨烯装置通过针对目标外泌体的特异性抗体进行功能化，利用连接分子四（4-羧基苯基）卟啉（TCPP），其一侧与石墨烯结合，另一侧与抗体结合。

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山东大学韩琳教授课题组报道了一种用于抗生素高灵敏检测的超净石墨烯场效应晶体管传感平台，并对标品、类实际样本、渤海湾实际样本进行检测分析，探索了CRCT新型转移工艺及适配体传感模型

在此结构中，石墨炔起到吸附层的作用，通过d -π和π -π相互作用对目标物表现出很强的亲和力，同时石墨烯起到导电层的作用，解决了石墨炔导电性差的问题，实现了Cd2+, Pb2+, nitrobenzene和4-nitrophenol的检测。