2D-PL下一轮多项目晶圆流片项目现已开放注册。本次流片专攻电子器件领域,可在支持的工艺流程中集成传感器功能(如霍尔传感器)。
二维材料试点生产线(2D-PL)是欧洲推动二维材料技术从科研走向规模化制造的创新平台。多项目晶圆(MPW)项目使企业、初创公司及研究团队能够在共享晶圆上验证器件概念,大幅降低成本并缩短开发周期。
本次MPW中,AMO提供石墨烯场效应晶体管(GFET)作为标准化基础设计。该平台具备以下特性:
- 局部背栅结构
- 底部接触架构
- 在规定规格内具备设计灵活性

图示展示了GFET结构的各层组成
参与者可在保持整体工艺模块兼容的前提下,根据具体应用需求调整GFET布局。
参与方式
有意者请通过此表单联系AMO,获取完整设计套件、技术规格、时间表及提交指南。
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- 符合二维平面器件愿景的工业级工艺
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通过DeepL.com(免费版)翻译
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