Graphene Flagship 2D-EPL一年

2020年10月，Graphene Flagship推出了由欧盟委员会资助的第二个项目：2D实验试验线（2D-EPL）。该项目正在努力建立一个欧洲生态系统，用于石墨烯和相关材料（GRM）的电子，光子学和传感器的原型生产。

比利时imec纳米应用材料工程研究经理Cedric Huyghebaert领导2D-EPL项目。在这里，他就项目的目的、第一年的成就以及Graphene Flagship及其他领域2D-EPL的未来提出了他的想法。

2D-EPL项目背后的动机是什么？

2D材料在许多针对不同应用领域的设备中表现出出色的性能。然而，尽管2D材料具有广阔的特性，但需要开发新技术才能将2D材料投入批量生产。弥合实验室信安达工艺与半导体行业硅加工之间的差距是一项巨大的挑战，需要加工现场、工具供应商和材料供应商之间的协调行动，朝着这个方向迈出第一步。我认为2D-EPL是一个机会，可以跳入这场冒险，使欧洲成为2D材料成为半导体技术的地方。

您个人是如何参与这个项目的？

我从一开始就参与了这个项目。作为Graphene Flagship晶圆级系统集成工作包的副负责人，我对需要解决的关键挑战有很好的了解，并列出了可能的解决方案。然后，我联系了Graphene Flagship内外的人和公司，看看他们是否分享了我的分析，并了解他们是否可以为这些解决方案做出贡献。根据他们的反馈，我们开始组建一个财团和一个项目，也就是我们今天所知的2D-EPL。

像2D-EPL这样的合作项目如何帮助推进最先进的技术？

2D-EPL使我们能够将整个供应链整合在一起，以成功集成2D材料。欧盟资金的注入通过提供大部分必要的投资来弥合在实验室中展示2D材料和建立强大的2D技术之间的差距，从而降低了参与者的风险。

一年过去了，2D-EPL项目取得了什么成就？

项目的第一年对于建立项目的结构和基础设施至关重要。这是重要的一年，成功的种子已经播下并开始成长，但产出尚未为外部世界所见。我们完成了第一个商用300毫米生长工具的设计，用于石墨烯，六方氮化硼和过渡金属硫族化合物 – 另外两个GRM。零件已经订购，该工具将在来年生产。

与此同时，我们通过晶圆厂处理了第一批转移的二硒化钨，并依靠标准半导体设备在晶圆厂流程中制造了第一个低于 50 nm 的双门控晶体管。最后但并非最不重要的一点是，我们稳定了200毫米的石墨烯器件流量，良率超过80%，使我们能够打开能够满足客户要求的多用途晶圆通话。

2D-EPL的下一步是什么？

接下来的步骤是提高集成流的稳定性，并为我们在实验室中演示的一些改进流升级到 200 和 300 毫米做准备。除此之外，我们还开始探索与客户合作的可能性。

除了四年的EC资助之外，2D-EPL的未来会怎样？

我希望半导体行业能够采用2D材料。在传感器、数据通信、光子学和电子领域有很多潜在的应用，但2D材料的集成还不够成熟。2D-EPL是向前迈出一些关键步骤的巨大机会，并向业界证明存在与硅的2D协集成需求。最后，如果融资窗口太短而无法说服行业，2D-EPL建立的基础设施将提供机会，继续针对不同的应用领域进行更具体的微调。在2D-EPL中，我们专注于开发通用集成模块。但是需要更多的调整来优化不同应用领域的性能。

您最喜欢晶圆的2D材料是什么？

我只是着迷于这样一个事实，即可以在如此大的区域内转移单层材料。它的纵横比真的很大。这样做所需的控制真是太棒了。