MEMS

  • Nano Res.│石墨烯泡沫谐振器

    作者通过一种简单、可靠的制造工艺,制作了石墨烯泡沫器件。用静电激发这些器件,并分析它们的共振和衰荡响应。实验观察到显著的能量耗散,器件的品质因子在几十的数量级。此外,作者研究了温度对器件工作的影响,发现高温会使谐振器机械软化,但也会显著提高能量耗散。最后,作者演示了共振模式和两倍频率模式的模式耦合。因此,这项工作为开发新型石墨烯泡沫谐振器铺平了道路,该谐振器可以集成到未来的器件中,例如基于石墨烯泡沫的纳米机电传感器、电路和振荡器。

    2021年7月5日 科研进展
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